- Tytuł:
- Numerical study on the effectiveness of precursor isolation using N2 as gas barrier in spatial atomic layer deposition
- Autorzy:
- Źródło:
- In International Journal of Heat and Mass Transfer December 2019 144
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.