- Tytuł:
-
Impact of surface preparation for n-type Si:P and p-type SiGe:
B semiconductors on low resistance silicide contacts - Autorzy:
- Źródło:
- In Microelectronic Engineering 5 April 2017 173:22-26
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.