- Tytuł:
- Nanoimprint lithography from CHARPAN Tool exposed master stamps with 12.5 nm hp
- Autorzy:
- Źródło:
- In Microelectronic Engineering August 2011 88(8):2070-2073
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.