- Tytuł:
- Exploring crystal recovery and dopant activation in coated laser annealing on ion implanted 4H–SiC epitaxial layers
- Autorzy:
- Źródło:
- In Materials Science in Semiconductor Processing May 2024 174
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.