- Tytuł:
- Parametric Amplification of Acoustically Actuated Micro Beams Using Fringing Electrostatic Fields
- Autorzy:
- Temat:
-
parametric amplification
MEMS
electrostatic actuation
acoustic sensor
cantilever
Mechanical engineering and machinery
TJ1-1570 - Źródło:
- Micromachines, Vol 15, Iss 2, p 257 (2024)
- Opis pliku:
- electronic resource
- Relacje:
- https://www.mdpi.com/2072-666X/15/2/257; https://doaj.org/toc/2072-666X
- Dostęp URL:
- https://doaj.org/article/5de85cd0c36b4893bef7cf49fa3508d5  Link otwiera się w nowym oknie
Czasopismo naukowe