- Tytuł:
- Interlayer Dielectric Capping Effect on Thermal Stability of Ni Germanide on Doped Ge-on-Si Substrate for Nano-scale Ge MOSFETs.
- Autorzy:
- Źródło:
- World Congress on Engineering 2009 (Volume 1). 2009, p423-426. 4p. 4 Diagrams, 1 Chart, 3 Graphs.
Książka