- Tytuł:
-
Room temperature
wafer bonding through conversion of polysilazane into SiO2. - Autorzy:
- Źródło:
- Scientific Reports. 1/13/2024, Vol. 14 Issue 1, p1-8. 8p.
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.