- Tytuł:
- Modelling of air damping effect on the performance of encapsulated MEMS resonators
- Autorzy:
- Źródło:
- Microsystem Technologies: Micro- and NanosystemsInformation Storage and Processing Systems. 28(11):2529-2539
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.