- Tytuł:
- Structural investigation of nanovoids around the interface of micro-vias by spherical aberration corrected scanning transmission electron microscopy
- Autorzy:
- Źródło:
- In Microelectronics Reliability November 2023 150
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.