Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Wyszukujesz frazę ""Song, Han Dock"" wg kryterium: Autor


Wyświetlanie 1-5 z 5
Tytuł:
Selective etching of silicon nitride over silicon oxide using ClF3/H2 remote plasma.
Autorzy:
Lee, Won Oh
Kim, Ki Hyun
Kim, Doo San
Ji, You Jin
Kang, Ji Eun
Tak, Hyun Woo
Park, Jin Woo
Song, Han Dock
Kim, Ki Seok
Cho, Byeong Ok
Kim, Young Lae
Yeom, Geun Young
Pokaż więcej
Temat:
SILICON oxide
ETCHING
SILICON nitride
FLASH memory
NITRIDES
PLASMA temperature
Źródło:
Scientific Reports; 4/5/2022, Vol. 12 Issue 1, p1-9, 9p
Czasopismo naukowe
    Wyświetlanie 1-5 z 5

    Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies