- Tytuł:
- Pre-amorphization damage study in as-implanted silicon
- Autorzy:
- Źródło:
- In Nuclear Inst. and Methods in Physics Research, B 1995 96(1):227-231
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.