- Tytuł:
- Beyond decentralized wafer/reticle stage control design: A double-Youla approach for enhancing synchronized motion
- Autorzy:
- Źródło:
- In Control Engineering Practice February 2019 83:21-32
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.