- Tytuł:
- Effect of Surfactant and Solvent on the Pore Structure of Organosilica Glass Film
- Autorzy:
- Źródło:
- Russian Microelectronics. 52(Suppl 1):S232-S239
Czasopismo naukowe
Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.