Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Przeglądasz jako GOŚĆ

Wyszukujesz frazę ""Voronov, V. V."" wg kryterium: Autor


Tytuł :
Epitaxial growth of 3C-SiC film by microwave plasma chemical vapor deposition in H2-CH4-SiH4 mixtures: Optical emission spectroscopy study.
Autorzy :
Yurov, V. Yu.
Ralchenko, V. G.
Martyanov, A. K.
Antonova, I. A.
Sedov, V. S.
Khomich, A. A.
Voronov, V. V.
Savin, S. S.
Shevchenko, M. Y.
Bolshakov, A. P.
Pokaż więcej
Temat :
EPITAXY
MICROWAVE plasmas
CHEMICAL vapor deposition
EMISSION spectroscopy
OPTICAL spectroscopy
SILICON carbide films
RAMAN spectroscopy
Źródło :
Journal of Vacuum Science & Technology: Part A-Vacuums, Surfaces & Films; Mar2021, Vol. 39 Issue 2, p1-12, 12p
Czasopismo naukowe

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies