- Tytuł :
- Impact of Si doping on dislocation behavior in MOVPE-grown AlN on high-temperature annealed AlN buffer layers.
- Autorzy :
- Temat :
-
BUFFER layers
LATTICE constants
HIGH temperatures
EPITAXY
GASES
SAPPHIRES - Źródło :
- Journal of Applied Physics; 1/28/2022, Vol. 131 Issue 4, p1-7, 7p
-
Czasopismo naukowe