- Tytuł:
- MODIFICATION OF SILICON SURFACE UNDER INFLUENCE OF RADIATION OF A NANOSECOND ULTRAVIOLET LASER
- Autorzy:
- Temat:
-
laser impact
silicon single crystal
uv laser
nanosecond pulse
micro- and nanomodification of the surface
plastic deformation
Physical and theoretical chemistry
QD450-801 - Źródło:
- Физико-химические аспекты изучения кластеров, наноструктур и наноматериалов, Iss 12, Pp 628-636 (2020)
- Opis pliku:
- electronic resource
- Relacje:
- https://physchemaspects.ru/2020/doi-10-26456-pcascnn-2020-12-628/; https://doaj.org/toc/2226-4442; https://doaj.org/toc/2658-4360
- Dostęp URL:
- https://doaj.org/article/72ee6c79072c45a7a68e96d30f743e41 Link otwiera się w nowym oknie
Czasopismo naukowe