- Tytuł:
-
Micro-Cantilever
Electric Field Sensor Driven by Electrostatic Force - Autorzy:
- Temat:
-
Microsensors
Electric sensing devices
Microfabrication
Piezoresistivedevices
Engineering (General). Civil engineering (General)
TA1-2040 - Źródło:
- Engineering, Vol 24, Iss , Pp 184-191 (2023)
- Opis pliku:
- electronic resource
- Relacje:
- http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S2095809922005616; https://doaj.org/toc/2095-8099
- Dostęp URL:
- https://doaj.org/article/3699065245f94078bd4482f05188f44f  Link otwiera się w nowym oknie
Czasopismo naukowe