Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Przeglądasz jako GOŚĆ

Wyszukujesz frazę ""van Ingen Schenau, Koen"" wg kryterium: Autor


Tytuł :
Correlation of EUV resist performance metrics in micro-exposure and full-field EUV projection tools.
Autorzy :
Wallow, Thomas I.
Pierson, Bill
Mizuno, Hiroyuki
Fumar-Pici, Anita
Petrillo, Karen
Anderson, Chris N.
Naulleau, Patrick P.
Hansen, Steven G.
Deng, Yunfei
van Ingen Schenau, Koen
Koay, Chiew-Seng
Ohara, Linda
Han, Sang-In
Watso, Robert
Huli, Lior
Burkhardt, Martin
Wood, Obert
Mallmann, Joerg
Kessels, Bart
Routh, Robert
Pokaż więcej
Źródło :
Proceedings of SPIE; Nov2009 Part 2, Issue 1, p72733T-72733T-11, 11p
Konferencja
Tytuł :
Pitch doubling through dual-patterning lithography challenges in integration and litho budgets.
Autorzy :
Dusa, Mircea
Quaedackers, John
Larsen, Olaf F. A.
Meessen, Jeroen
van der Heijden, Eddy
Dicker, Gerald
Wismans, Onno
de Haas, Paul
van Ingen Schenau, Koen
Finders, Jo
Vleeming, Bert
Storms, Geert
Jaenen, Patrick
Cheng, Shaunee
Maenhoudt, Mireille
Pokaż więcej
Źródło :
Proceedings of SPIE; Nov2007 Part 2, Issue 1, p65200G-65200G-10, 10p
Konferencja

Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies