Wszystkie pola: "Hiller, Karla" - OpacWWW

Skocz do pozycji: 1.

Tytuł:: Characterization of plasma-activated, thermally-annealed Si-SiO2 direct bond strength for vapor HF etching
Autorzy:: Gong, Tianjiao
Suzuki, Yukio
Hiller, Karla
Tanaka, Shuji; Pokaż więcej
Źródło:: In Sensors and Actuators: A. Physical 1 December 2023 363

Czasopismo naukowe

na półce

Szczegóły

Skocz do pozycji: 2.

Informacja:: Dostęp do tej pozycji wymaga zalogowania się.

Czasopismo naukowe

na półce

Szczegóły

Skocz do pozycji: 3.

Tytuł:: Characterization of Thin AlN/Ag/AlN-Reflector Stacks on Glass Substrates for MEMS Applications.
Autorzy:: Behl, Christian
Behlert, Regine
Seiler, Jan
Helke, Christian
Shaporin, Alexey
Hiller, Karla; Pokaż więcej
Temat:: MICROELECTROMECHANICAL systems
FABRICATION (Manufacturing)
OPTICAL properties
FABRY-Perot interferometers
PLASMONICS
PASSIVATION
Źródło:: Micro (2673-8023); Mar2024, Vol. 4 Issue 1, p142-156, 15p

Czasopismo naukowe

na półce

Szczegóły

Skocz do pozycji: 4.

Informacja:: Dostęp do tej pozycji wymaga zalogowania się.

Czasopismo naukowe

na półce

Szczegóły

Skocz do pozycji: 5.

Tytuł:: Reliability testing of integrated low-temperature PVD PZT films
Autorzy:: Monteiro Diniz Reis, Daniel
Rzepka, Sven
Hiller, Karla; Pokaż więcej
Źródło:: In Microelectronics Reliability September 2018 88-90:835-839

Czasopismo naukowe

na półce

Szczegóły

Skocz do pozycji: 6.

Tytuł:: Integration of (Poly‐Si/Air) Distributed Bragg Reflectors in a 150 mm Bulk Micromachined Wafer‐Level MOEMS Fabrication Process.
Autorzy:: Helke, Christian
Seiler, Jan
Meinig, Marco
Großmann, Toni Dirk
Bonitz, Jens
Haase, Micha
Zimmermann, Sven
Ebermann, Martin
Kurth, Steffen
Reuter, Danny
Hiller, Karla; Pokaż więcej
Źródło:: IEEJ Transactions on Electrical & Electronic Engineering; May2024, Vol. 19 Issue 5, p767-772, 6p

Czasopismo naukowe

na półce

Szczegóły

Skocz do pozycji: 7.

Tytuł:: Co-sputtering of Al1-xScxN thin films on Pt(111): a characterization by Raman and IR spectroscopies
Autorzy:: Solonenko, Dmytro
Lan, Chuanqi
Schmidt, Constance
Stoeckel, ChrisAff2, Aff3
Hiller, KarlaAff2, Aff3
Zahn, Dietrich R. T.; Pokaż więcej
Źródło:: Journal of Materials Science. 55(36):17061-17071

Czasopismo naukowe

na półce

Pełny tekst Pełny tekst Szczegóły

Skocz do pozycji: 8.

Tytuł:: Correction to: Co-sputtering of Al1−xScxN thin films on Pt(111): a characterization by Raman and IR spectroscopies
Autorzy:: Solonenko, Dmytro
Lan, Chuanqi
Schmidt, Constance
Stoeckel, ChrisAff2, Aff3
Hiller, KarlaAff2, Aff3
Zahn, Dietrich R. T.; Pokaż więcej
Źródło:: Journal of Materials Science. 56(28):16181-16182

Czasopismo naukowe

na półce

Pełny tekst Pełny tekst Szczegóły

Skocz do pozycji: 9.

Informacja:: Dostęp do tej pozycji wymaga zalogowania się.

Czasopismo naukowe

na półce

Szczegóły

Skocz do pozycji: 10.

Informacja:: Dostęp do tej pozycji wymaga zalogowania się.

Czasopismo naukowe

na półce

Szczegóły

Skocz do pozycji: 11.

Tytuł:: Induktives Solid-Liquid-Interdiffusionsbonden auf Basis miniaturisierter Induktionsspulen für die Mikrosystemtechnik. (German)
Autorzy:: Hofmann, Christian
Kroll, Martin
Hiller, Karla; Pokaż więcej
Temat:: ELECTROMAGNETS
SCANNING electron microscopy
MICROFABRICATION
FINITE element method
HEATING
Alternatywny tytuł:: Inductive solid-liquid interdiffusion bonding based on miniaturised induction coils for microsystems technology. (English)
Źródło:: Schweissen und Schneiden; 2023, Vol. 75 Issue 8, p554-561, 8p

Periodyk

na półce

Pełny tekst Szczegóły

Skocz do pozycji: 12.

Tytuł:: A New Vacuum Friction Gauge Based on a Si Tuning Fork
Autorzy:: Kurth, Steffen
Hiller, Karla
Zichner, Norbert
Mehner, Jan
Kaufmann, Christian
Iwert, Thomas
Biehl, Steffen
Dötzel, Wolfram
Gessner, Thomas; Pokaż więcej
Źródło:: Transducers ’01 Eurosensors XV : The 11th International Conference on Solid-State Sensors and Actuators June 10 – 14, 2001 Munich, Germany. :502-505

Książka elektroniczna

na półce

Szczegóły

Skocz do pozycji: 13.

Tytuł:: Numerical characterization and experimental verification of an in-plane MEMS-actuator with thin-film aluminum heater
Autorzy:: Meszmer, Peter
Hiller, Karla
Hartmann, Steffen
Shaporin, Alexey
May, Daniel
Rodriguez, Raul David
Arnold, Jörg
Schondelmaier, Gianina
Mehner, Jan
Zahn, Dietrich R. T.
Wunderle, Bernhard; Pokaż więcej
Źródło:: Microsystem Technologies: Micro- and NanosystemsInformation Storage and Processing Systems. June 2014 20(6):1041-1050

Czasopismo naukowe

na półce

Szczegóły

Skocz do pozycji: 14.

Informacja:: Dostęp do tej pozycji wymaga zalogowania się.

Czasopismo naukowe

na półce

Pełny tekst Pełny tekst Szczegóły

Skocz do pozycji: 15.

Informacja:: Dostęp do tej pozycji wymaga zalogowania się.

Czasopismo naukowe

na półce

Szczegóły

Skocz do pozycji: 16.

Informacja:: Dostęp do tej pozycji wymaga zalogowania się.

Czasopismo naukowe

na półce

Pełny tekst Pełny tekst Szczegóły

Skocz do pozycji: 17.

Informacja:: Dostęp do tej pozycji wymaga zalogowania się.

Czasopismo naukowe

na półce

Szczegóły

Skocz do pozycji: 18.

Informacja:: Dostęp do tej pozycji wymaga zalogowania się.

Czasopismo naukowe

na półce

Szczegóły

Skocz do pozycji: 19.

Informacja:: Dostęp do tej pozycji wymaga zalogowania się.

Czasopismo naukowe

na półce

Szczegóły

Skocz do pozycji: 20.

Tytuł:: The Limits of the Post‐Growth Optimization of AlN Thin Films Grown on Si(111) via Magnetron Sputtering.
Autorzy:: Solonenko, Dmytro
Schmidt, Constance
Stoeckel, Chris
Hiller, Karla
Zahn, Dietrich R. T.; Pokaż więcej
Temat:: ANNEALING of metals
MAGNETRON sputtering
THIN films
SCANNING probe microscopy
FOURIER transform infrared spectroscopy
RUTHERFORD backscattering spectrometry
ALUMINUM nitride
ALUMINUM nitride films
Źródło:: Physica Status Solidi (B); May2020, Vol. 257 Issue 5, p1-9, 9p

Czasopismo naukowe

na półce

Szczegóły

Informacja

Wyszukujesz frazę ""Hiller, Karla"" wg kryterium: Wszystkie pola

Źródło danych

Ogranicz do:

Ogranicz do bazy

Typ dokumentu

Temat

Wydawca

Publikacja

Język

Rok publikacji